读创/深圳商报驻佛山记者 段煜第  通讯员 关瑶

第23届中国国际光电博览会（下称“光博会”）9月16日在深圳国际会展中心开幕，佛山季华实验室携11个项目参加博览会，其中“极大规模集成电路制造装备专用射频电源研发及产业化”项目荣获“中国光电博览奖”金奖。

本届光博会，佛山季华实验室11个参展项目亮点纷呈。其中，项目“极大规模集成电路制造装备专用射频电源研发及产业化”经“中国光电博览奖”专家团评审，荣获金奖。该项目展示了能满足高端半导体芯片制造行业的JHL-RF 5000 2MHz射频电源，这是佛山季华实验室旗下的 微波与真空技术研究室研发团队经一年多的努力，开发出的第二款高端制造专用电源产品，是一种高性能、高稳定、高精确的大功率射频电源。

“电源产品的功率、频率精度等性能优于国外同类产品，比同类产品价格低10%~20%，在国内外高精确射频电源市场中具有绝对竞争优势。”佛山季华实验室研发团队相关负责人介绍，JHL-RF 5000 2MHz射频电源作为集成电路制造装备核心零部件之一，广泛适用于等离子体应用，包括等离子刻蚀、等离子增强化学气相沉积、等离子清洗、离子注入等半导体关键工序设备，也可应用在太阳能板、面板制造行业中。

据了解，佛山季华实验室微波与真空技术研究室专注微波技术、真空技术、半导体技术等研究领域，主要开展半导体高端装备制造、新型半导体材料和器件设计制造两个方向的工作。研究团队目前拥有4名外籍技术顾问、32名博士、22名硕士及22名技术工程师，具备独立完成半导体高端装备研制并产业化的能力。以6kW 2.45GHz微波电源及5kW 2MHz射频电源为主打，研究室团队将大力推进半导体行业专用电源的产业化，突破国外技术和设备垄断封锁，推动中国半导体产业的快速发展，为实现中国半导体产业设备国产化做贡献。

此外，佛山季华实验室展区各式各样的“黑科技”人气同样火爆，吸引观众纷纷驻足，流连忘返。例如，“商业化高分辨率、轻型化、低成本卫星图像详查相机”以空间遥感相机一体化平台设计为抓手，打破载荷与平台的全部界限，采用超轻小型技术实现0.5米超高光学分辨率成像能力及整星高性价比，实现遥感卫星前沿性技术突破，全方位推动卫星制造产业化发展。

光博会开幕当天，全国政协教科卫体委员会副主任、佛山季华实验室理事长兼主任曹健林与光博会执行副主席杨宪承、中国科学院空天信息创新研究院副院长樊仲维一行，来到佛山季华实验室展区参观指导，对佛山季华实验室成果予以肯定，并希望佛山季华实验室能再接再厉，产出更多高质量的科研成果。

据悉，“中国光电博览奖”是经中国国际光电博览会(CIOE)组委会提议、CIOE主席团批准，并于评审专家委员会专题会议讨论通过设立的，以光电新产品和新技术为主题的产品技术成果奖。启动这一重大活动的目的是为了进一步推进中国光电产业技术发展，鼓励参展企事业单位研发新产品和开展技术创新的积极性，通过活动向行业呈现中国光电技术最新成果，为参展企事业单位提供展示自身技术实力和科研成果的机会。

佛山季华实验室（先进制造科学与技术广东省实验室）是广东省委、省政府启动的首批4家广东省实验室之一。佛山季华实验室选址于佛山市三龙湾高端创新聚集区核心区域，位于广佛交界中心地区，距广东省政府13公里，距佛山市政府12公里。整体占地1000亩，其中科研用地240亩，建筑面积30万平方米，规划产业化基地760亩。首期5年建设期投入总经费55亿元。佛山季华实验室面向世界科技前沿、面向国民经济主战场，围绕国家和广东省重大需求，集聚、整合国内外优势创新资源，打造先进制造科学与技术领域国内一流、国际高端的战略科技创新平台。

上图  佛山季华实验室研发的集成电路用大功率脉冲射频电源。

审读 ：谭录岗